Précautions pour le stockage, le transport et la manipulation du trifluorure d'azote dans les gaz électroniques

- Jun 07, 2018 -

Le trifluorure d'azote du gaz d'électrons est un gaz inodore, incolore et stable à température ambiante, et il est un oxydant puissant lorsqu'il est utilisé. L'azote du trifluorure du gaz d'électrons est utilisé comme matériau dans l'industrie de la microélectronique. Un excellent gaz de gravure au plasma, qui est divisé en ions fluorure actif au cours de la gravure ionique, présente d'excellentes vitesses de gravure et sélectivité pour les composés de silicium et de tungstène et le trifluorure d'azote de haute pureté.

L'azote du trifluorure de gaz d'électrons ne laisse aucun résidu sur la surface du produit lorsqu'il est gravé. Il a un très bon agent de nettoyage lorsqu'il est utilisé, et dans une certaine mesure, il est également utilisé dans la fabrication de puces et laser à haute énergie.

Stockage et transport électroniques de trifluorure d'azote gazeux

1. Les bouteilles de gaz du trifluorure d'azote du gaz électronique doivent être stockées dans une certaine mesure dans un entrepôt frais et ventilé. Lorsqu'ils sont utilisés, les bouteilles de gaz trifluorure d'azote doivent être tenues à l'écart du feu, de la chaleur, de la lumière directe du soleil et des agents réducteurs. Séparer le carburant ou les matériaux combustibles.

2. Les bouteilles de trifluorure d'azote doivent être légèrement chargées et déchargées pendant la manutention pour éviter d'endommager les bouteilles et les accessoires.

3. Le transport des bouteilles de trifluorure d'azote est expédié comme marchandises dangereuses. Pendant le transport, les bouteilles de trifluorure d'azote sont fixées avec des supports de bouteilles et transportées par des routes d'automobiles ou de bateaux.

Précautions d'utilisation du trifluorure d'azote gazeux électronique

Le trifluorure d'azote du gaz électronique doit être fermé dans une certaine mesure, de sorte qu'il puisse fournir une ventilation aspirante locale adéquate et une ventilation complète dans une certaine mesure. Ses opérateurs doivent suivre une formation spéciale pour observer strictement la réglementation dans une certaine mesure. Les procédures de fonctionnement, il est recommandé que les opérateurs portent des masques à gaz auto-amorçants de type filtre (demi-masque), portent des lunettes de sécurité, portent des vêtements de protection, et portent des gants en caoutchouc.

Le degré de trifluorure d'azote dans le gaz électronique doit être éloigné de sa source de chaleur, du type de feu et du lieu de travail. Il est strictement interdit de fumer et de s'éloigner des substances inflammables et inflammables. Empêcher les fuites de gaz dans l'air du lieu de travail. Eviter le contact avec des agents réducteurs. Porter un casque de cylindre et une bande de caoutchouc anti-choc lors de la manipulation pour éviter la collision et l'endommagement du cylindre. Équipé des types appropriés et des quantités d'équipement de lutte contre l'incendie et d'équipement d'intervention d'urgence. Http://www.wxytgas.com/