Composition technique et exigences de conception pour les systèmes d'alimentation en gaz en vrac

- Jul 02, 2019-

Lorsque le gaz en vrac est utilisé, le gaz utilisé dans l’usine de puces à circuits intégrés peut être divisé en deux types selon la quantité d’utilisation: une grande quantité de gaz est appelée gaz en vrac et une petite quantité est appelée gaz spécial.

Les gaz en vrac comprennent généralement de l'azote, de l'oxygène, de l'hydrogène, de l'argon, de l'hélium, etc., parmi lesquels l'azote est couramment utilisé.

Le projet de gaz en vrac est le projet de système d'alimentation en gaz centralisé, qui est divisé en une partie source de gaz, une partie conduite de transport et une partie équipement de configuration de terminal.

Composition technique des systèmes d'alimentation en gaz centralisés pour les grands projets gaziers

Partie source de gaz: le dispositif de stockage de gaz a GC / GR, rangée d'écoulement mixte, panneau multi-bouteilles à une bouteille ou à deux bouteilles, etc., en fonction de différentes propriétés du gaz, telles que la corrosion, les gaz toxiques, inflammables, explosifs, spéciaux, GC , gaz inerte ordinaire GR.

Pipeline: Différents matériaux sont fabriqués à partir de matériaux différents, tels que le gaz spécial pour double enveloppe, le tuyau en acier inoxydable de qualité EP pour le tuyau intérieur, le tuyau extérieur pour les tuyaux en acier inoxydable de qualité BA et le gaz en général pour les tuyaux en acier inoxydable de qualité BA.

Partie terminale: VMB / VMP, panneau unique. Selon différentes propriétés du gaz, telles que VMB pour gaz spécial et VMP pour gaz général.

Exigences en matière de conception technique et de construction de gaz en vrac:

1. Le choix des raccords de tuyauterie, la plupart des industries utilisent des tuyaux en acier inoxydable SUS316, et le degré de polissage de ce tuyau est différent, mais des gaz différents ont des exigences différentes en matière de raccords de tuyauterie; les gaz inflammables, explosifs et toxiques ont des exigences plus élevées pour les raccords de tuyauterie . Les exigences pour les gaz électroniques ordinaires sont relativement faibles.

2. Les composants des vannes sont sélectionnés, différentes vannes ont différentes propriétés d'étanchéité et le processus de fabrication est également très différent. Pour les gaz dangereux, utilisez une vanne avec une conduite d’étanchéité supérieure.

3. Sélection du matériel de décompression, le matériel de décompression doit être sélectionné en fonction de la pression d'alimentation en gaz, la plage de décompression doit être raisonnable, de sorte que le changement de pression soit meilleur.

4. La détection des fuites dans le circuit de gaz est un élément indispensable de l’ensemble du projet. Certains gaz dangereux sont extrêmement dangereux après une fuite, il doit donc y avoir des exigences extrêmement strictes en matière de sécurité! Www.wxytgas.com