Mélanges de fluorure de krypton

Mélanges de fluorure de krypton

Introduction aux mélanges de fluorure de krypton (Kr & F2) Introduction Les mélanges de fluorure de krypton sont utilisés dans les applications de lithographie à 248 nm, généralement en association avec un mélange de gaz inerte. Pour les mélanges de laser excimère, il existe plusieurs combinaisons de gaz en fonction de l'utilisation envisagée. Certains sont des combinaisons de ...
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